La temperatura i la humitat de l'espai de construcció del laboratori es determinen principalment d'acord amb els requisits del procés, però s'ha de tenir en compte el nivell de confort humà a l'hora de complir els requisits del procés. Amb la millora dels requisits de neteja de l'aire, s'ha produït una demanda cada cop més estricta de la temperatura i la humitat del procés. Els requisits específics del procés per a la temperatura es detallaran més endavant, però com a principi general, a causa de la precisió de processament cada vegada més fina, els requisits per al rang de fluctuació de temperatura són cada vegada més petits.
Per exemple, en el procés d'exposició de litografia de la producció de circuits integrats a gran escala, la diferència en el coeficient d'expansió tèrmica entre el vidre i la oblea de silici com a material de màscara es requereix per ser més petit i més petit. Una oblea de silici de 100 m de diàmetre, l'augment de la temperatura d'1 grau, va provocar una expansió lineal de 0,24 μm, ha de tenir una temperatura constant de ± 0,1 graus, mentre que el valor d'humitat requerit generalment és inferior, perquè la gent sua, el producte serà contaminat, en particular, té por del taller de semiconductors de sodi, aquesta temperatura del taller no ha de superar els 25 graus, el problema de l'excés de humitat va generar més problemes. Quan la humitat relativa supera el 55%, la condensació es formarà a la paret de la canonada d'aigua de refrigeració. Si es produeix en un dispositiu o circuit de precisió, provocarà diversos accidents.
Normativa de pressió
Per a les sales més netes, és necessari mantenir la pressió interna (pressió estàtica) superior a la pressió externa (pressió estàtica) per evitar la intrusió de la contaminació externa. El manteniment de la diferència de pressió generalment hauria de complir els següents principis:
1. La pressió de l'espai net és superior a la pressió de l'espai no net.
2. La pressió de l'alt nivell de neteja és superior a la pressió del nivell de neteja baix adjacent.
El manteniment de la diferència de pressió depèn de la quantitat d'aire fresc que pugui compensar la quantitat de filtració d'aire de la bretxa en aquesta diferència de pressió. Així, el significat físic de la diferència de pressió és la resistència a la fuga (o penetració) quan el volum de l'aire passa per diversos buits a la sala neta.
Regulació de la velocitat de l'aire a la sala neta
La velocitat del flux d'aire que es tractarà aquí es refereix a la velocitat del flux d'aire a la sala blanca. La velocitat del flux d'aire en altres sales netes es discuteix quan es discuteix equips específics.
Per a la sala neta turbulenta Com que la principal es basa principalment en la dilució de l'aire per reduir el grau de contaminació interior, el concepte del nombre de canvis d'aire s'utilitza principalment en lloc d'utilitzar directament el concepte de velocitat, però també hi ha el següent requisits per a la velocitat de l'aire interior;
(1) La velocitat de l'aire a la sortida de la sortida d'aire no ha de ser massa gran. En comparació amb una habitació senzilla amb aire condicionat, requereix una atenuació de la velocitat més ràpida i un angle de propagació més gran.
(2) La velocitat de circulació de l'aire (per exemple, la velocitat de recirculació en el moment de l'alimentació lateral) que es bufa sobre el pla horitzontal no ha de ser massa gran, per no volar les partícules de la superfície per tornar al flux d'aire i causar re-contaminació. Normalment, aquesta velocitat no es recomana que sigui tan gran com 0,2 m / s.
Per a la sala neta de flux paral·lel "comunament coneguda com la sala neta laminar", la velocitat de la secció transversal és un indicador molt important a causa del fet que el pistó s'utilitza principalment per al flux d'aire per excloure la tintura. En el passat, es va fer una referència als Estats Units a 20gB i es va utilitzar 0.45. Senyora. Però també s'ha après que la quantitat de ventilació necessària per a una velocitat tan gran és molt gran. Per tal d'estalviar energia, també busquen la viabilitat de reduir la velocitat del vent.
A la Xina, tant les mesures Air Cleantech com el Cleanroom Design Code són
Flux paral·lel vertical (flux laminar) sala neta ≥ 0,25 m / s
Flux paral·lel horitzontal (flux laminar) sala neta ≥ 0,35 m / s
Control de soroll
Els estàndards de soroll per a la construcció de laboratoris nets són generalment més estrictes que els de protecció de la salut. El propòsit és garantir que les operacions es realitzin de manera normal i que s'aconsegueixi un contacte conversacional necessari i es compleixi un entorn de treball segur i còmode. Per tant, l'indicador principal del soroll en una habitació neta és.
1. L'efecte dels problemes
A causa del soroll, la gent se sent incòmoda i té problemes per a les emocions. En general, es divideixen en molt tranquil, molt tranquil, tranquil, lleugerament sorollós, relativament sorollós i extremadament sorollós. Quan el nivell de resposta és molt sorollós i extremadament sorollós, és una ansietat elevada i el percentatge d'alt nombre de problemes en el nombre total és una elevada taxa d'ansietat.
2. Impacte en l'eficiència del treball
Això depèn principalment del nivell de resposta en les tres àrees. Aquests tres aspectes són: concentració, precisió d'acció i velocitat de treball;
3. Interferència amb les comunicacions integrades